Precíziós öttengelyes CNC félvezető vákuumkamra specifikációi

Monoblokk marási lehetőségek félvezető vákuumkamrákhoz

A szerkezeti hegesztések kiküszöbölése a hélium{0}}tömítések és a kiváló mechanikai integritás elérése érdekében a folyamatkamrákban.

A Xiamen Dazao Machinery monoblokkot gyárt5 tengelyes CNC megmunkálású félvezető vákuumkamráknagyvákuumú (HV) és ultra{0}}nagyvákuumú (UHV) rendszerekhez tervezték. A több-tengelyes esztergálás és az 5 tengelyes egyidejű CNC maróközpontok felhasználásával a 304, 316L és Al6061-T6 rozsdamentes acél tömör tuskóit szerkezeti hegesztések nélkül, precíz vákuumházakká alakítják.

Gyártási lehetőségeink támogatják a dobozos -formájú PVD leválasztókamrákat, plazmamaratkozó kamrákat, ostyatöltő zármodulokat és gömb alakú UHV reakcióedényeket. A belső porozitás, az anyagüregek és a hő{2}}hegesztési zónahibák kiküszöbölésével5 tengelyes CNC megmunkáló félvezető vákuumkamraA folyamat stabil tömítési határvonalakat, folyamatos belső hűtőcsatornákat és torzulásoktól mentes -peremfelületeket biztosít a globális szerszámgyártók számára.

Helyszíni hibák elemzése és műszaki javítási intézkedések

Valós-mérnöki kiváltó okok értékelései a félvezető berendezések helyszíni telepítéseiről.

1: PVD leválasztókamra mikrokarima-szivárgás megszüntetése

· Kiváltó ok:Egy európai vékony{0}}fóliás berendezés ügyfele 30%-os meghibásodást tapasztalt a hélium szivárgástesztje során egy régi szállító által megmunkált doboz{2}}acél rozsdamentes acél PVD-kamrákon. A meghibásodás elemzése mikroszkopikus adagolási nyomokat és a tömítőfelületen 0,05 mm-t meghaladó karima lapossági eltérést mutatott ki.

· Mérnöki tevékenység:Bevezettük a tükörmarást speciális homlokmaró{0}}geometriával, amelyet precíziós kézi átlapolás követett. A felület síkságát 0,02 mm/m vagy azzal egyenlő értékre állítottuk be, és az érdességet Ra 0,4 µm-re csökkentettük. Mindenprecíziós megmunkálású rozsdamentes acél alkatrészekA futás most 100%-os hélium tömegspektrométeres vizsgálaton esik át a kiszállítás előtt, így az összeállítás elfogadási aránya 100%-ra emelkedik.

2: A gázkibocsátás csökkentése gömb alakú UHV reakcióedényekben

· Kiváltó ok:Egy kutatóintézet arról számolt be, hogy az alapnyomás 10^-7 Pa-nál leállt egy gömb alakú uhv-kamrában, amely SS304 szabványból készült cf-karimákkal rendelkezik. A belső felületi szennyeződések és a beszorult nedvesség miatti magas gázkibocsátás megakadályozta a szükséges 10^-9 Pa szintre történő leszivattyúzást.

· Mérnöki tevékenység:Az anyagspecifikációt alacsony-szén-dioxid-kibocsátású SS316L-re változtattuk, integráltunk egy 900 fokos vákuumos izzítási gáztalanítási ciklust, és belső elektropolírozást alkalmaztunk, hogy a felületi érdesség Ra Less-re 0,2 µm vagy azzal egyenlő legyen. A tisztatéri ultrahangos mosást és a vákuumos sütést követően a végső vákuum elérte a 10^-9 Pa-t a specifikáción belül.

3: Terhelési zárkamra karima meghajlása nyomás alatti ciklusban

· Kiváltó ok:Egy ostyaberendezés gyártója progresszív vákuumveszteséget észlelt egy félvezető terhelési zárkamra-konstrukcióban hat hónapos működés után. A gyors szellőző---vákuumnyomás-ciklus feloldotta a maradék megmunkálási feszültséget, és 0,03 mm-rel meghajlította a fő tömítőajtó karimáját.

· Mérnöki tevékenység:Bevezettünk egy két-lépcsős feszültségmentesítési folyamatot: durva marás → termikus izzítás → fél-simítás → másodlagos termikus stabilizálás → 5-tengelyű simítómarás szerszám-pálya-mikro-kompenzációval. A módosítás utáni teherzáras ajtók 10 000 nyomási ciklus után 0,01 mm-nél kisebb vagy azzal egyenlő vetemedést mutattak.

Műszaki megkülönböztetők az ultra{0}}nagyvákuumú gyártáshoz

Szabványosított kohászati ​​és tesztelési munkafolyamatok, amelyek elválasztják a félvezető{0}}minőségű kamrákat a kereskedelmi gépműhelyektől.

1. Osztályozott vákuumtömítés és 100%-os héliumszivárgás ellenőrzése:

· Nagy vákuum (HV) szabvány:Hélium szivárgási sebesség: 1×10^-10 Pa·m³/s vagy egyenlő. PVD-rendszerekhez, terhelészárokhoz és átviteli modulokhoz optimalizálva.

· Ultra{0}}nagy vákuum (UHV) szabvány:Hélium szivárgási sebesség: 1×10^-12 Pa·m³/s vagy egyenlő. Plazmamaratáshoz és felületelemző rendszerekhez készült.

2. UHV anyagkibocsátás szabályozási protokollja:

· Anyagtétel nyomon követhetőség alacsony gőznyomású ötvözetválasztással (SS316L, Al6061-T6).

· A nagy-vákuumú hőgázos feldolgozás eltávolítja az elnyelt hidrogént a belső fémrácsokból.

· Az elektropolírozás csökkenti a mikro{0}}porozitást és a felület abszorpciós felületét.

3. Ciklikus terhelési stressz stabilizálás:

· A két-fokozatú termikus izzítás kiküszöböli a maradék megmunkálási feszültségeket.

· A szerszámpálya-kompenzáció megakadályozza a szerkezeti elhajlást atmoszférikus nyomásterhelések hatására.

Teljesítmény-összehasonlítás: monoblokk 5 tengelyes marás vs. hegesztett szerelvények

A vákuum integritásának, pontosságának és hosszú távú{0}}működési költségeinek mennyiségi értékelése.

Az optimalizált hőkezelést vagy korróziógátló védelmet igénylő alkalmazásokhoz az utó{0}}megmunkálási képességeink közé tartozik a tanúsítottkemény bevonatos eloxálás és elektropolírozása szerszámgyártó szabványoknak megfelelő opciók.

Műszaki adatok táblázata

Szigorú tűréshatárok, felületkezelések és ellenőrzési szabványok a vákuumkamrákhoz.

Minőségbiztosítási és ellenőrzési szabványok

Ellenőrző protokollok, amelyek közvetlen integrációt biztosítanak a félvezető gyártósorokba.

Gyártási tevékenységünk ISO 9001:2015 tanúsítvánnyal rendelkező minőségirányítási rendszer szerint zajlik. Az ellenőrzési protokollok a kamragyártás minden fázisára kiterjednek:

· Anyagvizsgálat:A beérkező anyagtételek kémiai ellenőrzésen esnek át optikai emissziós spektroszkópiával (OES). Az ultrahangos ellenőrzések igazolják, hogy a vastag extrudálásokban nincs belső üregképződés.

· Első cikkvizsgálat (FAI):A FAI dimenziójelentéseket a Zeiss CMM berendezéssel állítják elő a teljes kötegelt gyártási futtatások kiadása előtt.

· Folyamat-pontossági ellenőrzések:A kritikus tömítési méreteket, az O-gyűrű horony geometriáját és a ConFlat (CF) kés-élprofilokat a marási műveletek során ellenőrzik.

· 100%-os hélium szivárgásteszt:Minden doboz alakú nagyvákuumkamra szivárgásellenőrzésen esik át Pfeiffer hélium tömegspektrométeres szivárgásérzékelőkkel, amelyek vákuum üzemmódban működnek.

· Tisztatéri csomagolás:Az alkatrészeket ultrahangos tisztításnak vetik alá ioncserélt vízzel, vákuumos kiégetéssel, kettős polietilén zacskóba helyezve tiszta helyiségben, és védőládával.

Anyag és geometria kiválasztási mátrix

Anyagtulajdonságok és szerkezeti formák hozzáigazítása a feldolgozási gázkörnyezetekhez és vákuumtartományokhoz.

· Rozsdamentes acél 304 / 316L:Selected for operating bakeout temperatures >200 fokos, reaktív folyamatok kémiája és 10^-7 Pa alatti végső vákuumigény. Az SS316L klór- és fluorplazma-maratási eljárásokhoz készült.

· Alumínium 6061-T6:Ott alkalmazzák, ahol hőleadásra, a robotos ostyakezelők csökkentett súlyára és gyors szivattyú{0}}leállítási ciklusokra van szükség. Az alumínium-oxid felületi passziválás hatékony gázkibocsátási gátat biztosít.

· Doboz / téglalap alakú burkolatok:Maximális belső hordozóterhelési mennyiséget biztosít. Ajánlott pvd lerakórendszerekhez vákuumkamra-építésekhez és automatizált átviteli modulokhoz.

· Gömb/hengeres burkolatok:Teljes légköri differenciálterhelés mellett egyenletesen osztja el a szerkezeti nyomásfeszültségeket. Ideális tudományos és felületelemzési területeken működő gömb alakú uhv kamrához cf ​​karimákkal.

Cél alkalmazási iparágak

Globális félvezető OEM-eket, bevonóberendezés-építőket és tudományos kutatólaboratóriumokat szolgál ki.

Félvezető lapka feldolgozás

Plazmamaratókamrás félvezető berendezések, CVD burkolatok és ionsugár modulok gyártása.

PVD vékony{0}}filmlerakás

Monolit kamratestek integrált célkarimákkal és belső hűtéssel a porlasztórendszerekhez.

UHV Kutatólaboratóriumok

Egyedi UHV kamrák szinkrotron fényforrásokhoz, felületfizikai és részecskegyorsító rendszerekhez.

Szerszám karbantartás és felújítás

Újra-megmunkálás és pontos-illesztés csereprecíziós CNC vákuumkamra alkatrészeka régebbi ostyafab vonalakhoz.

Kérjen árajánlatot a félvezető vákuumkamrára

GYIK

 

 

01.Hogyan lehet különbséget tenni a valódi vákuumszivárgás és az anyagkibocsátás között a tesztelés során?

A virtuális szivárgások és a valódi szivárgások megkülönböztetése nyomásemelkedési tesztet és maradékgáz-elemzést (RGA) igényel. A gázkibocsátás (többnyire vízgőz) hatására a szivattyú{1}}lefelé irányuló görbéi közbenső nyomáson ellaposodnak, de a nyomásemelkedés idővel kiegyenlít, ha elkülönítik. A valódi légköri szivárgás folyamatos, lineáris nyomásemelkedést mutat. Vákuumos hőkezeléssel és elektropolírozással oldjuk meg a gázkibocsátást, és hélium tömegspektrometriával megerősítjük a valódi zéró szivárgást{4}}.

02. Miért válassza az alumínium 6061-T6-ot a rozsdamentes acél helyett a félvezető vákuumkamrákhoz?

Amint azt a mérnöki megbeszélések során kiemelték, az alumínium 3-szor kisebb sűrűséget, kiváló hővezető képességet és gyorsabb kiégést biztosít, mint a rozsdamentes acél. Az alumínium természetesen olyan felületi alumínium-oxid gátat képez, amely rendkívül alacsony hidrogénáteresztést mutat, csökkenti a gázkibocsátást nagy vákuumban, miközben csökkenti a szerszám súlyát és a megmunkálási költségeket.

03.Hogyan előzheti meg a ConFlat (CF) kés-élperemeinek sérülését és sorját az 5 tengelyes megmunkálás során?

A CF-kés-éltömítő ajak pontos 90 fokos éles profilokat igényelnek nulla remegési nyomokkal, hogy tisztán belehassanak az oxigén--mentes réztömítésekbe. Speciális egyedi profilvágó szerszámokat, ultra-finom simítóelőtolásokat és tükörmarási meneteket használunk. Minden kés élét 100%-os optikai nagyítási vizsgálatnak vetik alá, hogy megbizonyosodjon arról, hogy nincsenek mikro-sorja vagy élborulás.

04. Miért megy át a vákuumkamra statikus CMM-ellenőrzésen, de miért nem sikerül a hélium szivárgásteszten?

A statikus koordináta mérőgépek (CMM) mérik a makro-geometriát, de nem érzékelik a mikro-porozitást, a betáplálási-jel folytonosságát a tömítési felületek között, vagy a szub-mikronos felületi remegést. A héliumatomok behatolnak a mikro{5}}barázdákba, amelyek elcsúsznak a CMM-érintőszondák mellett. A tükörmarást kombináljuk a 100%-os hélium tömegspektrométeres teszteléssel teljes vákuum evakuálással.

05.Mi akadályozza meg, hogy a teherzár-kamra karimái megvetemedjenek a gyakori nyomásciklusok során?

A szellőző---vákuumnyomás ciklikus ciklus ciklikus mechanikai kifáradást fejt ki, és feloldja az agresszív, nehéz marásból származó maradékfeszültséget. Ezt a kockázatot úgy küszöböljük ki, hogy több-lépcsős feszültségcsökkentő izzítást hajtunk végre a durvamarás, a fél-simítás és a végső 5-tengelyes precíziós simítás között, így biztosítva a hosszú távú geometriai stabilitást a légköri differenciális terhelések mellett.

06.Hogyan befolyásolja a belső felületi érdesség (Ra) a vákuum alapnyomását?

A durvább felületeken mikroszkopikus csúcsok és völgyek találhatók, amelyek felfogják a légköri nedvességet és a folyamatban lévő gázokat, drámaian megnövelve a gázkibocsátás felületét. A belső kamra falainak elektropolírozása Ra 0,8 µm-től Ra 0,2 µm-ig akár 80%-kal csökkenti a hatékony mikro-felületet, felgyorsítja a kamraszivattyú-leállási idejét a végső UHV nyomás eléréséhez.

Kérjen DFM-értékelést a félvezetőkamra tervezéséhez

Küldje be 2D mérnöki rajzait és 3D CAD fájljait (STEP, IGES, X_T) műszaki értékeléshez.

Technikai csapatunk 24 órán belül részletes visszajelzést ad a Design for Manufacturability (DFM) és hivatalos kereskedelmi árajánlatokról.

Közvetlen műszaki e-mail: Erica@dazaocn.com

Lépjen kapcsolatba velünk

Népszerű tags: 5 tengelyes CNC megmunkáló félvezető vákuumkamra, ultra nagy vákuum kamra gyártás, félvezető terhelés zár kamra kialakítás, doboz alakú nagy vákuum kamra, gömb alakú uhv kamra cf karimákkal